透過協(xié)同合作，為全球晶片製造商提供強(qiáng)大的化學(xué)品供應(yīng)鏈以支援下一代EUV應(yīng)用的研發(fā)

舊金山2022年7月15日 /美通社/ -- Lam Research 科林研發(fā) （NASDAQ: LRCX）、Entegris, Inc. （NASDAQ: ENTG）和 Mitsubishi Chemical Group旗下 Gelest, Inc, 宣佈了一項(xiàng)策略合作，將為全球半導(dǎo)體製造商提供可靠的前驅(qū)體（precursor）化學(xué)品，用於Lam Research 科林研發(fā)突破性的極紫外線（EUV）微影乾式光阻技術(shù)，這是一種生產(chǎn)次世代半導(dǎo)體的創(chuàng)新方法。三方通力合作 EUV 乾式光阻技術(shù)的研發(fā)，將促進(jìn)邏輯晶片和 DRAM 產(chǎn)品未來世代的發(fā)展，以助力機(jī)器學(xué)習(xí)、人工智慧和行動(dòng)裝置等先進(jìn)應(yīng)用的實(shí)現(xiàn)。

強(qiáng)大的製程用化學(xué)品供應(yīng)鏈對(duì)於 EUV 乾式光阻技術(shù)整合於大量製造是至關(guān)重要的。新的長期合作關(guān)係將進(jìn)一步擴(kuò)大乾式光阻技術(shù)的生態(tài)系統(tǒng)。再加上來自半導(dǎo)體材料市場領(lǐng)導(dǎo)者的雙重供應(yīng)，可為全球市場的持續(xù)供應(yīng)提供保障。

此外，Lam Research 科林研發(fā)、Entegris 和 Gelest 還將攜手合作，加快開發(fā)具成本效益的 EUV 乾式光阻技術(shù)解決方案，未來可應(yīng)用於高數(shù)值孔徑（high-NA）EUV 曝光。高數(shù)值孔徑（high-NA）EUV被廣泛認(rèn)為是未來數(shù)十年內(nèi)，元件持續(xù)微縮和半導(dǎo)體製程進(jìn)展所必備的曝光技術(shù)。乾式光阻技術(shù)可提供高抗蝕刻性與厚度微調(diào)，以支援高數(shù)值孔徑（high-NA）EUV 的較小景深要求。

Lam Research 科林研發(fā)執(zhí)行副總裁暨技術(shù)長 Rick Gottscho 表示：「乾式光阻技術(shù)是一項(xiàng)重大突破，它解決了使用 EUV 微影技術(shù)微縮 DRAM 和邏輯晶片製程的最大障礙。此次合作將Lam Research 科林研發(fā)專精的乾式光阻技術(shù)和先進(jìn)製程解決方案，與兩間具備材料科學(xué)優(yōu)勢和值得信賴的前驅(qū)體化學(xué)品領(lǐng)導(dǎo)業(yè)者結(jié)合在一起。乾式光阻技術(shù)生態(tài)系統(tǒng)的擴(kuò)展，開啟令人振奮的創(chuàng)新格局，並將推動(dòng)此技術(shù)於大量生產(chǎn)。」

最初由 Lam Research 科林研發(fā)與 ASML 和 IMEC 合作開發(fā)的乾式光阻技術(shù)，提升了 EUV 微影的解析度、生產(chǎn)力和良率，從而解決了下一代 DRAM 和邏輯晶片技術(shù)相關(guān)的關(guān)鍵挑戰(zhàn)。它提供卓越的 dose-to-size 和 dose-to-defectivity 的效能，以提升 EUV 曝光機(jī)的生產(chǎn)力並降低持有成本。此外，與傳統(tǒng)光阻製程相比，Lam Research 科林研發(fā)的乾式光阻技術(shù)可消耗更少的能源，且原料消耗量比之前要少五到十倍，提供了關(guān)鍵的永續(xù)發(fā)展優(yōu)勢。

Entegris 執(zhí)行長 Bertrand Loy 表示：「Lam Research 科林研發(fā)的乾式光阻技術(shù)反映了材料層面的關(guān)鍵創(chuàng)新，並且優(yōu)勢眾多，包括解析度更佳、成本效率更高以及令人信服的永續(xù)性效益。我們很自豪能夠成為這項(xiàng)創(chuàng)新合作的一部分，以加速乾式光阻技術(shù)的採用，並成為客戶值得信賴的製程材料供應(yīng)商，因?yàn)樗麄冎铝独眠@一重要技術(shù)創(chuàng)造下一代半導(dǎo)體。」

Mitsubishi Chemical Group 旗下 Gelest 公司總裁 Jonathan Goff 表示：「我們與 Lam Research 科林研發(fā)和 Entegris 合作促進(jìn) EUV 微影用乾式光阻技術(shù)的發(fā)展，這表明我們致力於支援晶片製造商在材料科學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新。近年來，我們已經(jīng)看到 EUV 展現(xiàn)出了非凡的價(jià)值，我們很高興成為生態(tài)系統(tǒng)的一部分，以擴(kuò)展其潛力。」

關(guān)於Lam Research 科林研發(fā)

Lam Research 科林研發(fā)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供創(chuàng)新晶圓製造設(shè)備和服務(wù)的全球供應(yīng)商。Lam Research 科林研發(fā)的晶圓製造設(shè)備與服務(wù)讓客戶能創(chuàng)建體積更小和效能更好的電子元件。事實(shí)上，今天幾乎所有的先進(jìn)晶片都是利用 Lam Research 科林研發(fā)的技術(shù)來製造。我們結(jié)合卓越的系統(tǒng)工程、技術(shù)領(lǐng)先的優(yōu)勢、和強(qiáng)大的價(jià)值導(dǎo)向文化，以及對(duì)客戶堅(jiān)定不移的承諾。Lam Research 科林研發(fā) (那斯達(dá)克股票代號(hào): LRCX) 是一家 FORTUNE 500® 公司，總部位於美國加州佛利蒙市，營運(yùn)遍佈全球。欲了解更多資訊，請(qǐng)?jiān)煸L https://www.lamresearch.com/。

關(guān)於 Entegris

Entegris 是半導(dǎo)體市場電子材料領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者。Entegris 擁有約 8,800 名員工，業(yè)務(wù)遍佈全球，除了針對(duì)生命科學(xué)和其他先進(jìn)製造環(huán)境的解決方案外，還為半導(dǎo)體客戶提供業(yè)界最全面、最創(chuàng)新的端到端產(chǎn)品。Entegris 的解決方案可幫助客戶提高效能、良率和產(chǎn)量，從而實(shí)現(xiàn)改變世界的技術(shù)。它在美國、加拿大、中國、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、韓國和臺(tái)灣設(shè)有製造、客戶服務(wù)和/或研究機(jī)構(gòu)。欲瞭解更多關(guān)於 Entegris 的資訊，請(qǐng)瀏覽www.entegris.com，或在 LinkedIn、Twitter、Facebook 和 Instagram 上關(guān)注我們。

關(guān)於 Gelest

Gelest 是一家總部位於美國的創(chuàng)新企業(yè)、製造商和專精於特殊矽膠、有機(jī)矽烷、有機(jī)金屬和丙烯酸單體的全球供應(yīng)商，服務(wù)於醫(yī)療設(shè)備、生命科學(xué)、塗料和接著劑、微電子和個(gè)人護(hù)理等先進(jìn)技術(shù)終端消費(fèi)市場。作為 Mitsubishi Chemical Group 旗下子公司的 Gelest，可以運(yùn)用世界上最大和最成功的化學(xué)公司之一的專業(yè)知識(shí)、研發(fā)支援和技術(shù)資源。Gelest 透過開發(fā)最先進(jìn)的化學(xué)技術(shù)、產(chǎn)品和服務(wù)，因應(yīng)社會(huì)上最複雜的材料科學(xué)挑戰(zhàn)，以協(xié)助客戶取得成功。

前瞻性聲明注意事項(xiàng)

本新聞稿中一些非既往事實(shí)陳述為前瞻性聲明，這些聲明受 1995 年美國《私人證券訴訟改革法案》的安全港條款約束。這些前瞻性聲明論及但不限於：Lam Research 科林研發(fā)、Entegris 和 Gelest 能夠及時(shí)提供足夠數(shù)量與品質(zhì)的機(jī)臺(tái)和化學(xué)品以滿足客戶需求的能力；三方合作的持續(xù)時(shí)間、目標(biāo)或成果；Lam Research 科林研發(fā)的機(jī)臺(tái)和製程的效能，特別是透過使用 Lam Research 科林研發(fā)的乾式光阻技術(shù)獲得的效能和優(yōu)勢；新技術(shù)對(duì) EUV 微影成本和生產(chǎn)力的影響；需要提高 EUV 微影的生產(chǎn)力和解析度；透過使用新技術(shù)節(jié)省的能源或原料的數(shù)量；以及產(chǎn)業(yè)合作的效益。這些陳述基於目前預(yù)期，並受風(fēng)險(xiǎn)、不確定性以及條件、重要性、價(jià)值和效果變化的影響，包括我們向證券交易委員會(huì)提交或提供的文件所描述的風(fēng)險(xiǎn)和不確定性，具體包括 Lam Research 科林研發(fā)在截至 2021 年 6 月 27 日會(huì)計(jì)年度的 10-K 表格年度報(bào)告和截至 2022 年 3 月 26 日的季度 10-Q 表格季度報(bào)告，以及在 Entegris 截至 2021 年 12 月 31 日會(huì)計(jì)年度的 10-K 表格年度報(bào)告和截至 2022 年 4 月 2 日的季度 10-Q 表格季度報(bào)告中描述的風(fēng)險(xiǎn)因素。這些不確定性與變化可對(duì)前瞻性聲明產(chǎn)生重大影響，導(dǎo)致實(shí)際結(jié)果與預(yù)期有明顯不同。Lam Research 科林研發(fā)沒有義務(wù)在日後對(duì)此新聞稿中發(fā)佈的訊息做出更新說明。

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